半導體電阻率測試儀/電阻率測試儀/半導體電阻率測定儀(含探頭和測試架) 型號:HHY8-BD-86A
HHY8-BD-86A型半導體電阻率測試儀是我廠推出的*新的普及型半導體電阻率測試儀器,本儀器是根據四探針原理,適合半導體器材廠,材料廠用于測量半導體材料(片狀、棒狀)的體電阻率,方塊電阻(簿層電阻),也可以用作測量金屬薄層電阻,經過對用戶、半導體廠測試的調查,根據美ASTM標準的規定,在電路和探頭方面作了重大的修改和術上的許多突破,它更適合于半導體器材廠藝檢測方面對中值、阻硅、鍺材料方塊電阻和體電阻率的測量需要,成為普及型的電阻率測試儀,具有測量精度,穩定性好,輸入阻抗,使用方便、價格低廉等點。
儀器主要術標:
1. 測量范圍:電阻率10-3—103Ω-cm,分辯率為 10-4Ω-cm ,可擴展到105Ω-cm
方塊電阻10-2—104Ω/□,分辯率為10-3Ω/□,可擴展到106Ω/□
薄層金屬電阻10-4—105Ω,分辯率為10-4Ω
2.可測半導體材料尺寸:直徑Φ15—Φ125mm; 長度:150mm(可擴展500mm)
3.測量方式:軸向、斷面均可
4.數字電壓表:(1)量程:20mV(分辯率:10μV)、200mV、2V
(2)測量誤差:±0.3%讀數±1字
(3)輸入阻抗:大于108Ω
(4)顯示3 1/2 位紅色發光二管(LED)數字顯示
0---1999具有性、過載、小數點、單位自動顯示
5.恒流源:由交流供電,具有良好的防泄漏隔離能
(1) 直流電流:0—100mA連續可調
(2) 量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA
(3) 分辯率:10nA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA
(4) 電流誤差:±0.3%讀數±2字
6.電性能模擬考核誤差:<±0.3%符合ASTM標
7.測試探頭:(1)探針機械游移率:± 0.3% 符合ASTM 標
8.電源:交流220V±10% 50HZ或60HZ 率消耗< 30W
9.電氣箱外形尺寸:119×440×320mm